● ctf(cluster tool framework)平台软件

● 分布式结构的集束设备控制平台软件

● 符合半导体设备行业标准的软件框架

● 支持windows，linux(计划)等操作系统

● 组件化、可视化开发

● 高度可定制化

开发流程

● 了解设备结构和功能需求

● 二次开发

● 基本配置（结构、io、报警等）

● gui配置和开发

● pm开发（子流程控制、配方执行）

● tm开发（传输控制）

● 调度开发（定制调度算法）

● 调试测试

● 单元、集成测试（仿真+实际）

● 工艺测试

● 客户发布

● 维护升级

开发形式

● 配置/组态工具

● io config, gui designer等

● 配置文件

● xml/json/csv 等格式

● 设备结构、配方格式、报警、联锁、常量、历史记录等

● 定制开发

● io驱动

● pm和tm

● gui组件（如: 配方编辑器、robot动画等）

● ctc调度

设备控制软件现状存在的问题？

1. 开发成本高：

   控制软件高度定制化因应不同客户需求，皆需要开发人员定制化开发，耗时耗人力

2. 通讯不统一

联机不易每个客户上层协议都不一样，无法满足需要寻找外包客制化，成本高

1. 管理不易

单机管理设备单机运行，收集设备数据内与软件更新都需要到现场实施

1. 无竞争力

   无加值服务，除了提供基础设备服务，单机设备难以提供软件相关加值服务